多晶硅铸锭炉，提纯炉：该装备主要用于多晶硅定向凝固（多晶硅铸锭）实验及制造，也可以用于其他半导体材料提纯。同时可适用于高纯铝提纯用。

　　该装备可实现熔炼过程在线进行多种物料加料工艺，并可进行物料烧结时骤冷实验。

主要技术参数

　　熔炼容量：5-30KG

　　电源功率：50-100KW

　　升温速率：40℃/Min

　　炉温均匀性：±5℃

　　极限真空度：6.67×10-3Pa